氮化炉充入氮气的作用,PECVD过程中充入氮气的作用是什么?
很多人在购买工业炉和干燥设备时都很关心氮化炉充入氮气的作用,PECVD过程中充入氮气的作用是什么? 的问题,毕竟多数为定制产品,所以了解的越多,就越容易定制符合自己企业生产需要的设备,下面小编就针对氮化炉充入氮气的作用,PECVD过程中充入氮气的作用是什么? 这一问题整理了些答案,供大家参考:
N2维持关内气流的稳定,工艺结束可以把SiH4,NH3挤出去。非反应气体
N2 一般是填充气 用于清除炉管里的硅烷和氨气. 以及改变炉管内的压强 调整工作状态 开启炉门等
N2不是反应气体
形成si3n4钝化层
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